我们可以提供高温超导薄膜基材、磁性薄膜基材、铁电薄膜基材、半导体晶体、光学晶体、激光晶体材料,同时提供定向、晶体切割、研磨、抛光等加工服务
非极性独立GaN衬底( a-plane and m-plane)
规格
| 项目 | GaN-FS-a | GaN-FS-m |
| 尺寸 | 5.0mmx5.5mm | |
| 5.0mmx10.0mm | ||
| 5.0mmx20.0mm | ||
| Customized size | ||
| 厚度 | 350±25um | |
| 晶向 | a-plane±1° | m-plane±1° |
| TTV(总厚度) | ≤15um | |
| BOW | ≤20um | |
| 导电型 | N-Type | |
| 电阻率(300K) | <0.5Ω.cm | |
| 错位密度 | Less than 5x106 cm-2 | |
| 表面可用面积 | >90% | |
| 抛光 | 正面:Ra<0.2nm.Epi-ready polished 反面: 好 | |
| 包装 | 包装在100级洁净室环境中,在氮气环境下的单个晶圆容器中 | |
可选择其他厚度、尺寸和切面.