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什么是溅射靶材?

2018-06-20

溅射靶是一种用溅射沉积或薄膜沉积技术制造薄膜的材料。在这个过程中,溅射靶材的材料,一开始是固体,被气体离子分解成微小的粒子,形成一个喷雾,并覆盖在另一种材料,即所谓的基底上。溅射沉积通常涉及半导体和计算机芯片的制造。因此,大多数溅射靶材料都是金属元素或合金,尽管也有一些陶瓷靶可用于各种工具的硬化薄涂层。——《引自WiseGEEK》

什么是溅射靶材?

根据所制造的薄膜的性质,溅射靶的大小和形状会非常大。最小的靶材直径小于1英寸(2.5厘米),而最大的矩形靶材长度超过1码(0.9米)。有些溅射设备需要较大的溅射靶,在这种情况下,制造商会制造出由特殊接头连接的分段靶。——《引自WiseGEEK》

什么是溅射靶材?

迈德立可以提供下列材料的建设靶材:

什么是溅射靶材?

1.纯金属靶材: Al, Sb, Bi, B, CD, C, Ce, Cr, Co, Cu, Dy, Er, Eu, Gd, Ge, Au, C, Hf, Ho, In, Ir, Fe, La, Lu, Mg, Mn, Mo, Nd, Ni, Nb, Pd, Pt, Pr,Re, Ru, Sm, Se, Sc, Ag, Si, Ta, Tb, Tm, Sn, Ti, W, V, Yb, Y, Zr, Zn, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Sc,Y


2.合金靶材:AlCu, AlCr, AlMg, AlSi, AlSiCu, AlAg, AlV, CaNiCrFe, CaNiCrFeMoMn, CeGd, CeSm, CrSi, CoCr, CoCrMo, CoFe, CoFeB, CoNi, CoNiCr, CoPt, CoNbZr, CoTaZr, CoZr, CrV, CrB, CrSi, CrCu, CuCo, CuGa, CuIn, CuNi, CoNiPt, CuZr, DyFe,DyFeCo, FeB, FeC, FeMn, GdFe, GdFeCo, HfFe, IrMn, IrRe, InSn, MoSi, NiAl, NiCr, NiCrSi, NdDyFeCo, NiFe, NiMn, NiNbTi,NiTi, NiV, SmCo, AgCu, AgSn, TaAl, TbDyFe, TbFe, TbFeCo, TbGdFeCo, TiAl, TiNi, TiCr, WRe, WTi, WCu, ZrAl, ZrCu, ZrFe,ZrNb, ZrNi, ZrTi, ZrY, ZnAl, ZnMg,etc...

什么是溅射靶材?

3.陶瓷靶材:氧化物,硫化物,碲化物,硒化物,硼化物,碳化物,氮化物,化合物

什么是溅射靶材?

4.靶材的绑定。

什么是溅射靶材?

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