EN | CN
首页 产品新闻联系我们
首页 / 案例

哪种溅射材料我们需要用煤油保存?

2020-07-01

迈德立将溅射靶材塑封真空包装。

但根据靶材的特性,我们将一些溅射靶放入煤油防护装置中

哪种溅射材料我们需要用煤油保存?

下列九种溅射目标需要用煤油(航空航天级煤油)保护:

锂靶、钙靶、锶靶钡靶、镧靶、铈靶、镨靶、钕靶和铕靶。

使用煤油(航空航天级)保护靶材的注意事项。

1.   准备500ml丙酮液,打开靶材包装,用镊子将靶材从塑料袋中取出,放入丙酮液中10秒,重复浸泡3次。

2.   然后进行快速干燥,将靶材放入磁控溅射系统中。

3.   做预溅射去除表面的氧化物,建议20分钟的预溅射时间。

4.   迈德立建议:在溅射处理完成之前,不要将靶材带出溅射室。最好将靶材放入真空保护,以防氧化。如真空保护不能保护,应放回煤油中。


联系我们